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太赫兹技术在通信、成像、生物医学与环境科学等领域展现出巨大的应用前景。和微波、毫米波系统一样，在太赫兹系统中，也需要用到很多关键器件，如混频器、天线、放大器、滤波器、波导。其中，太赫兹滤波器是不可或缺的常规器件，能对有用信号进行提取，同时能够抑制谐杂波，从而减小对系统的影响。
近年来，研究人员设计并制备了各种类型的太赫兹滤波器，常采用以下几种加工技术：微电机系统(Micro-Electromechanical Systems，MEMS)加工技术、湿法刻蚀技术(Wet-etching)、电铸(Electroforming)、3D打印技术、紫外光刻技术(UV–LIGA)、CNC铣削技术。其中，MEMS加工技术的加工精度高，可以达到微米量级，因而可以实现复杂微细结构的加工，但其工艺较复杂，即需要经过光刻、腐蚀、电镀等一系列过程。2013年，赵兴海等人通过MEMS加工技术首次制备了一款D波段矩形波导膜片滤波器，样品测试结果表明：其插入损耗为0.4~0.7 dB，中心频率为140±3 GHz，带外抑制为≥18 dB。相比较而言，传统CNC铣削技术由于其加工误差大，会导致滤波器损耗增大、Q值降低等问题。不过随着现代CNC加工技术的发展，加工误差逐渐降低，可控制在±2.5 μm。2020年，我国东南大学Ding等人采用CNC铣削技术研制了一种适用于全WR-3波段的一体化低损耗90°波导扭转器，其测试结果与仿真吻合良好，说明CNC铣削技术已能满足某些波导器件的需求。
本文设计了140 GHz的太赫兹波导带通滤波器，并利用CNC铣削技术进行制备，并进一步进行了容差分析，确认了该技术在工程上制备140 GHz滤波器的可行性。
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作者信息：
熊瑛1，马俊成1，李东升1，唐先锋2
（1.电子科技大学成都学院 工学院， 四川 成都 611731；2.西南交通大学 物理科学与技术学院，四川 成都 611756）
