设计应用

基于阻抗匹配器的二极管幅-相检测电路设计

作者：姚龙，李晓峰，马聪伟，郭徽
发布日期：2023-07-11
来源：电子技术应用

0　引言

低温等离子体技术如今向多元化发展，如射频磁控溅射、等离子体刻蚀、反应等离子体腐蚀、等离子体沉积等，与等离子体设备相配套的阻抗匹配器也在为了满足更多工艺要求不断进行技术升级，来实现多元化的工艺要求[1-3]。自动阻抗匹配器实现阻抗匹配自动化，优化工艺，极大地整合了开云棋牌官网在线客服工艺中自动化过程，实现了无接触式匹配过程[4-6]。

传统匹配箱的匹配阻抗拓扑都是倒L型或者π型，如图1所示，因为匹配拓扑固定，功率检测精度决定后续匹配程度的准确性[7-8]。传统阻抗匹配器利用定向耦合器等方式，采集信号的入射电压和反射电压的幅值，利用反射系数的幅值作为阻抗匹配网络调节的目标量，因为缺少相位信息，导致匹配时间长，精度低，并且无法避免在阻抗失配时双定耦检测测试结果误差偏大的问题[9-10]。




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作者信息：

姚龙，李晓峰，马聪伟，郭徽

（季华实验室， 广东 佛山 528000）


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