尼康新型浸润式ArF光刻机下个月开卖
发布日期：2023-12-12
来源：EETOP
12 月 7 日，尼康官网发布新闻稿，宣布推出浸润式 ArF 光刻机新品 NSR-S636E，将于明年 1 月开售。
据介绍，NSR-S636E 是尼康光刻系统中生产率最高的产品，是一款用于关键层的浸润式光刻机。
以下内容为来自尼康官网的介绍（自动翻译）：
发展背景
随着数字化转型的加速，能够更快地处理和传输大量数据的高性能开云棋牌官网在线客服变得越来越重要。领先开云棋牌官网在线客服性能的技术创新的关键推动因素是电路图案小型化和 3D 开云棋牌官网在线客服器件结构，而 ArF 浸没式扫描仪对于这两种制造工艺都至关重要。与传统开云棋牌官网在线客服相比，3D 开云棋牌官网在线客服制造过程中更容易发生晶圆翘曲和变形，因此需要比以往更先进的扫描仪校正和补偿功能。
NSR-S636E ArF 浸没式扫描仪采用增强型 iAS，可在曝光前执行复杂的晶圆多点测量。该创新系统利用高精度测量和广泛的晶圆翘曲和畸变校正功能，提供更高水平的覆盖精度，同时保持最大的扫描仪吞吐量。扫描仪的整体输出也比当前一代系统高 10-15% ，从而优化了尖端开云棋牌官网在线客服器件的生产效率。尼康继续为领先的 IC 生产提供 NSR-S636E 等宝贵的解决方案，并支持数字社会的发展。
主要优点
在各种生产工艺（包括容易发生晶圆变形的 3D-IC）中均具有出色的性能
曝光前执行晶圆多点测量的在线对准站 (iAS) 的精度得到提高，从而提高了测量晶圆翘曲和扭曲等变形的精度。先进的测量和补偿功能可提高工艺稳健性并提供卓越的叠加性能，而不会影响生产效率。这些创新对于包括需要超高叠加精度的 3D-IC 在内的各种制造工艺来说具有无价的价值，并将继续开发以实现前所未有的开云棋牌官网在线客服性能。
所有尼康开云棋牌官网在线客服光刻系统中生产率最高
通过吞吐量的全面改进和日常生产力优化，NSR-S636E ArF 浸入式扫描仪将整体产量比当前型号提高了 10-15%。这是尼康开云棋牌官网在线客服光刻系统整个历史上最高的生产力水平。尼康致力于通过 NSR-S636E 等行业领先的解决方案继续突破光刻技术的极限，以支持客户在未来许多年的制造目标。
尼康表示，随着数字化转型的加速，能够更快地处理和传输大量数据的高性能开云棋牌官网在线客服变得越来越重要。尖端开云棋牌官网在线客服性能技术创新的关键推动因素是电路小型化和 3D 开云棋牌官网在线客服器件结构，而 ArF 浸润式光刻机对这两种制造工艺都至关重要。与传统开云棋牌官网在线客服相比，在 3D 开云棋牌官网在线客服制造过程中更容易发生晶圆翘曲和失真，因此需要比以往任何时候都更先进的光刻机校正和补偿能力。
