设计应用

基于体硅MEMS工艺的射频微系统冲击特性仿真研究*

作者:冯政森1,王辂1,曾燕萍1,杨兵1,祁冬2,王志辉2,张睿2
发布日期:2024-02-21
来源:电子技术应用

引言

航空航天设备的发展趋势是小型化、轻量化,同时需要高可靠性以适应强冲击与高过载环境,射频微系统相较于传统的射频类板卡产品,集成度高、质量轻、惯性小,非常适用于各类高速飞行体。在高速飞行系统中应用微系统技术, 能够有效缩小系统的体积、减轻系统的重量、提高系统的性能和可靠性[1]。


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作者信息:

冯政森1,王辂1,曾燕萍1,杨兵1,祁冬2,王志辉2,张睿2

1.中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏 无锡214035;2.中国电子科技集团公司第十研究所,四川 成都610036


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体硅MEMS 射频微系统 冲击 响应谱 瞬态动力学
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