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SK海力士将1c DRAM制造引入六层EUV工艺

2025-08-12
来源:芯智讯
关键词: SK海力士 DRAM EUV HBM 光刻

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8月11日消息,据韩国媒体ZDNet报道,SK 海力士在 1c DRAM 制造方面取得重大进展,首次使用了6层EUV光刻,这将使 DDR5 和 HBM 产品的性能和良率更上一层楼,并使该公司成为该领域的领导者。

报道称,10nm级的DRAM已经开始引入了EUV光刻技术,但通常只有很少的关键层数应用,绝大部分依然是DUV光刻。但是,SK海力士在其1c制程DRAM制造上,首次升级到了6层EUV光刻,这将有助于提升产品的性能和良率,使得SK海力士能够推出存储位元更密集、读写速度更快、功耗更低的DDR5内存以及更高容量的HBM堆栈。此前的传闻显示,SK海力士的 1c DRAM 已经实现了 80%-90% 的良率。

虽然,目前SK海力士的1c DRAM尚未应用于任何传统的消费类内存解决方案,但 SK 海力士正在探索各种选择,我们很可能会看到更大容量的 DDR5和HBM。预计SK海力士将会在 1d 和 0a DRAM 等下一代产品上更多的使用EUV光刻,最终将为使用更先进的High NA EUV奠定基础。


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